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光譜共焦傳感器用于陶瓷材料外觀檢測(cè)

新型陶瓷在耐高溫、耐腐蝕、耐磨損、超硬性、超導(dǎo)性,遠(yuǎn)比傳統(tǒng)陶瓷、現(xiàn)存的金屬或非金屬材料優(yōu)越;新型陶瓷還具有光敏、氣敏、熱敏、濕敏、壓電等性能,在人工智能領(lǐng)域材料制作上具備獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝行業(yè)中。



以陶瓷劈刀為例,作為IC封裝行業(yè)的消耗品,其被譽(yù)為“精密陶瓷行業(yè)的寶藏”,主要應(yīng)用是安裝在鍵合機(jī)上用引線(xiàn)鍵合的方式鍵合焊點(diǎn)。陶瓷劈刀以其低成本優(yōu)勢(shì)獨(dú)占了芯片和基板電路連接90%以上的市場(chǎng)!未來(lái)銅線(xiàn)勢(shì)必替代金線(xiàn)成為主要健合線(xiàn),因此,陶瓷材料的改進(jìn)和表面粗糙度制作方法將成為其中的關(guān)鍵。一般選擇陶瓷劈刀的最佳內(nèi)孔徑是金線(xiàn)直徑的1.4倍,而市面上很多微電子鍵合金線(xiàn),直徑小到1μm—3μm。因此,在生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)上就需要極其精密的在線(xiàn)測(cè)量,通常企業(yè)會(huì)選擇使用精密光學(xué)傳感器完成檢測(cè)工作。海伯森點(diǎn)光譜共焦位移傳感器單通道模式下能夠?qū)崿F(xiàn)最快72000次/秒的超高速測(cè)量,最多支持四通道同步測(cè)量,提高速度,降低成本。另外,這款用于陶瓷劈刀檢測(cè)的光譜共焦傳感器最小光斑為1.4μm,適合測(cè)量精密陶瓷等微小幾何結(jié)構(gòu)和輪廓變化。











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